Dia 特點:
金屬密封
無顆粒
漏率低
高純等級材料
耐壓等級高
多種接口:(卡套、VCR、自動焊)
Cv偏低
尺寸:1/4”-3/4”
控制方式:手動、氣動
耐壓等級:高壓(3000psi)、低壓(145psi)
氣動閥可分:常閉、常開
Dia 閥門應用:
超純大宗氣體輸送系統二次配控制
特種氣體輸送控制(氣柜、VMB、VMP)
不適合Bellows 控制的小流量環境
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