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LED光電行業(yè)

公司致力服務(wù)于各類 實驗室、研究所、半導(dǎo)體芯片、光伏太陽能、LED、LCD平面顯示、光纖制造、醫(yī)藥、生物等高科技行業(yè)的試驗、生產(chǎn)、檢測領(lǐng)域,為客戶提供高純氣體、高純特殊氣體、高純化學(xué)品輸送系統(tǒng),以及實驗室家具設(shè)計安裝和無塵潔凈室設(shè)計安裝等相關(guān)服務(wù)。
特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅 薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定 技術(shù)指標和成品率,并從根本上制約著電路和器件的準確性。
LED特氣管道系統(tǒng)
在LED產(chǎn)業(yè)鏈中,外延技術(shù)、設(shè)備和材料是外延片制造技術(shù)的關(guān)鍵。實踐證明,MOCVD是適合生長外延片的良好技術(shù),也是一種工業(yè)化的實用技術(shù)。當前,MOCVD工藝已成為制造絕大多數(shù)光電子材料的基本技術(shù)。外延技術(shù)需要的超純特種氣體包括AsH3、PH3、NH3,GaAs生產(chǎn)中應(yīng)用硅烷N型摻 雜,而HCl和Cl2常常用做蝕刻氣,氬、氫、氮則是必不可少的載氣。同時外延生長需要的是(C3H9GA,C3H9ln,C3H9Al,C2H6zn,F(xiàn)e(C5C5)2,Mg 等。現(xiàn)有技術(shù)的發(fā)展對這些產(chǎn)品的品質(zhì)要求也越來越高。
隨著化合物半導(dǎo)體技術(shù)的日益成熟和產(chǎn)業(yè)化進程的提高,外延技術(shù)需要的超純特種氣體研制和制造技術(shù)不斷提升。主要表現(xiàn)在:氣體的深化技術(shù);氣瓶及管路內(nèi)壁的潔凈處理技術(shù);ppm、ppb、ppt氣體雜質(zhì)檢測技術(shù);ppb、ppt級金屬雜質(zhì)的凈化控制及分析檢測技術(shù);排放尾氣的偵測技術(shù);供氣系統(tǒng)的建立;特種氣體混合氣的配制技術(shù);配套器件技術(shù)以及0.01~0.002μm顆粒的測試過濾技術(shù)等。為了適應(yīng)日益發(fā)展的下游產(chǎn)業(yè)的發(fā)展需要,特種氣體生產(chǎn)商在產(chǎn)品純化、灌裝、檢測等環(huán)節(jié)取得更多的創(chuàng)新技術(shù)。
特種氣體的發(fā)展趨勢也伴隨光電子、微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展不斷更新、進步。主要表現(xiàn)為產(chǎn)品品種的不斷增加,新型半導(dǎo)體材料的出現(xiàn),代之而來的是新一代支撐材料 的需求,特種氣體生產(chǎn)廠家緊緊圍繞下游芯片廠的需求,不斷推出符合半導(dǎo)體工藝的新品種;同時特種氣體質(zhì)量不斷提高,以LED產(chǎn)業(yè)用量大的氨氣為例,高純 氨產(chǎn)品的純度由初期的技術(shù)指標要求電子級(5N)到兆位(5.5N)、兆位(5.7N)發(fā)展到市場廣泛應(yīng)用在氮化鎵生產(chǎn)中的藍氨(6.4N),目 前氮化鎵技術(shù)需求的高純氨技術(shù)指標純度超過99.99999,業(yè)界已經(jīng)認可的白氨已經(jīng)完全商品化;由于產(chǎn)品中雜質(zhì)如:水份、碳氫化合物的含量在特種氣體純度中都有嚴格的要求,但絕大多數(shù)特殊氣體因化學(xué)性大,所以不容易保持其純度,因此氣體的純度、供氣系統(tǒng)的保障便成為半導(dǎo)體廠要求品質(zhì)和經(jīng)濟性的關(guān)鍵。為避免化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中頻繁更換氣體瓶過程,保證盡可能少引入雜質(zhì),氣體的充裝容器規(guī)格趨向大體積,產(chǎn)品包裝的集裝化,在具備條件的工廠還可以直接建設(shè) 氣體輸送管道,保證特種氣體的供應(yīng)質(zhì)量穩(wěn)定。
成都陽泰祥電子科技有限公司是一家從事氣體應(yīng)用系統(tǒng)工程:電子特氣系統(tǒng)、實驗室氣路系統(tǒng)、工業(yè)集中供氣系統(tǒng)、大宗氣體(液體)系統(tǒng)、高純氣體及特種工藝氣體、二次配管系統(tǒng)、化學(xué)品輸送系統(tǒng)、純水系統(tǒng)、整體規(guī)劃、系統(tǒng)設(shè)計、設(shè)備選型、預(yù)制組件、項目現(xiàn)場安裝建設(shè)、整體系統(tǒng)檢測、維護保養(yǎng)等全套工程技術(shù)服務(wù)和配套產(chǎn)品于一體的技術(shù)企業(yè);

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