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高純氣體管道工程系統
是指半導體、液晶和太陽電池等工廠使用的高純度供氣

成都陽泰祥電子科技有限公司是一家從事氣體應用系統工程:電子特氣系統、實驗室氣路系統、工業集中供氣系統、大宗氣體(液體)系統、高純氣體及特種工藝氣體二次配管系統、化學品輸送系統、純水系統提供從技術咨詢、整體規劃、系統設計、選定設備、預制組件、項目現場安裝建設、整體系統檢測、維護保養等全套工程技術服務和配套產品于一體的技術企業;


工程項目覆蓋半導體、集成電路、平板顯示、光電、汽車、新能源、光纖、微電子、石油化工、生物醫藥、各類實驗室、研究所、標準檢測等高科技行業;為客戶提供高純介質輸送系統全套解決方案。


高純供氣系統

高純氣配管技術是高純氣體供氣系統的重要組成部分,是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點仍保持質量合格的關鍵技術;所謂高純氣配管技術包括系統的正確設計、管件及附件的選擇、施工安裝和 試驗測試等內容。

常見氣體的種類電子行業中常見氣體的分類:普通氣體,也稱大宗氣體(Bulk gas ):氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等。特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等特殊氣體的種類一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半導體氣體分類如下:
(一)、腐蝕性 / 毒性:HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等
(二)、可燃性:H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等
(三)、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3…等
(四)、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等 半導體氣體很多是對人體有害。
特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性,只要一泄漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應,開始燃燒;還有AsH3的劇毒性,任何些微的泄漏都可能造成 人員生命的危害,也就是因為這些顯而易見的危險,所以對于系統設計的要求就特別高。  

陽泰祥根據您的需求,為你提供高純氣體配件、設計、安裝、個性化全程服務;使產品和工程的品質、得到有力的保障。

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